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湿法刻蚀水膜改造

作者: 来源: 日期:2017/6/7 10:20:44 人气:3 加入收藏 评论:0 标签:

湿法刻蚀水膜改造.jpg

适用范围:

湿法刻蚀清洗机

改造内容:

在设备后部增加一个蓄水槽;

蓄水槽上面安装定量泵,对应设备的每一条轨道;

安装泵浦控制系统;

安装喷洒装置;

工艺测试。

改造效果:

硅片表面覆盖均匀的水膜后再进行刻蚀,可以完全屏蔽刻蚀线的问题;

可以大大降低硅片四周过刻问题;

可以减少硅片表面白点或白斑等外观问题;

硅片表面有水膜保护还可以提高刻蚀的腐蚀量,来优化背面的抛光效果,从而提高电池片的效率。


本文网址:http://seagear.cn/s/zhichi/149.html
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