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热风烘干改造

作者: 来源: 日期:2017/6/7 10:17:03 人气:1 加入收藏 评论:0 标签:

热风烘干改造.jpg

适用范围:

多晶制绒清洗机、湿法刻蚀清洗机

改造内容:

增加两组热风风机及风机变频控制系统;

风机吸入口增加初效及高效过滤装置;

将热风风刀安装在设备内;

风刀前后安装新型传动滚轮;

工艺测试。

改造效果:

彻底解决由于传统冷风烘干系统导致的硅片烘不干问题,从而降低返工率;

风机使用的是车间内的环境空气,经过两级过滤,能够减少由于压缩空气洁净度不达标导致的污染问题;

通过调整热风风机变频器及阀门,改变风刀出口压力及流量,工艺窗口更大;

降低之前压缩空气输送过程中的压力损失,节省成本。


本文网址:http://seagear.cn/s/zhichi/148.html
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