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石墨舟清洗机

作者: 来源: 日期:2017/6/7 9:16:12 人气:0 加入收藏 评论:0 标签:

设备用途

用于清洗PECVD石墨舟及石墨舟器件。

技术参数

清洗槽数量:4

设备利用率:98%

清洗槽尺寸: 1600mm * 510mm * 280mm

药水添加精度:≤2%

视窗开启方式:上下推拉式(带配重块)

控制方式:PLC触屏控制

鼓泡功能:有

喷淋清洗:有

超高液位保护:有

高、低浓度废液单独排放:是

产品优势

全自动清洗,工艺流程可编辑,自动化程度高。

药水具备自动添加功能,精度可以达到工艺需求。

自带喷淋功能,保证清洗效果的同时可以降低纯水消耗。



本文网址:http://seagear.cn/s/shebei/143.html
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